2024-03-28T19:02:49Z
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/oai
oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00006818
2023-01-16T03:52:14Z
320:606:607
LSI多層配線用層間絶縁膜とそのインテグレーション技術に関する研究開発
福田, 琢也
open access
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学)(課程) 学位授与年月日:平成19年3月23日
2007-03-23
jpn
doctoral thesis
http://hdl.handle.net/2237/8481
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/records/6818
甲第7543号
博士(工学)
2007-03-23
13901
名古屋大学
Nagoya University
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/6818/files/k7543_thesis.pdf
application/pdf
13.6 MB
2018-02-19