2024-03-28T19:06:31Z
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/oai
oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00009724
2023-01-16T03:55:02Z
320:606:607
シリコン酸化膜とシリコン窒化膜の大規模集積回路への応用に関する研究
小林, 清輝
open access
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (論文) 学位授与年月日:平成9年3月12日
1997-03-12
jpn
doctoral thesis
http://hdl.handle.net/2237/11524
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/records/9724
乙第5178号
博士(工学)
1997-03-12
13901
名古屋大学
Nagoya University
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/9724/files/ot5178.pdf
application/pdf
17.7 MB
2018-02-20