2024-03-29T12:48:17Z
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/oai
oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00015953
2023-01-16T04:32:15Z
320:606:607
Studies on Fabrication of Silicon Thin Films Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Behaviors of Radicals
ABE, Yusuke
阿部, 祐介
open access
名古屋大学博士学位論文 学位の種類 : 博士(工学)(課程) 学位授与年月日:平成25年3月25日
2013-03-25
eng
doctoral thesis
http://hdl.handle.net/2237/17984
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/records/15953
甲第10160号
博士(工学)
2013-03-25
13959
名古屋大学
Nagoya University
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/15953/files/k10160.pdf
application/pdf
2.3 MB
2018-02-20