2024-03-28T13:13:17Z
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/oai
oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00022112
2023-01-16T04:11:36Z
320:606:607
Study on structural control of hydrogenated amorphous carbon films using plasma-enhanced chemical vapor deposition
プラズマ化学気相堆積法における水素化アモルファスカーボン膜の構造制御に関する研究
JIA, Lingyun
賈, 凌雲
open access
2016-04-28
eng
doctoral thesis
http://hdl.handle.net/2237/24510
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/records/22112
甲第11508号
博士(工学)
2016-04-28
13901
名古屋大学
Nagoya University
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/22112/files/k11508_abstract.pdf
application/pdf
214.6 kB
2018-02-21
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/22112/files/k11508_thesis.pdf
application/pdf
2.7 MB
2018-02-21
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/22112/files/k11508_review.pdf
application/pdf
109.5 kB
2018-02-21