2024-03-28T10:38:34Z
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/oai
oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00009760
2023-01-16T03:55:32Z
320:606:607
静電チャックを用いた薄膜引張試験
Tensile testing of thin films using electrostatic force grip
土屋, 智由
29442
Tsuchiya, Toshiyuki
29443
名古屋大学
Nagoya University
博士(工学)
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成14年3月25日
doctoral thesis
2002-03-25
application/pdf
甲第5480号
http://hdl.handle.net/2237/11560
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/9760/files/ko5480.pdf
eng