2024-03-28T20:36:22Z
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/oai
oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00026523
2023-01-16T04:16:56Z
320:606:607
Study on control of etch profile in plasma etching for ultra large-scale integration fabrication
超大規模集積回路製造用プラズマエッチングにおける加工形状の制御に関する研究
酒井, 伊都子
87232
名古屋大学
Nagoya University
博士(工学)
doctoral thesis
2018-09-27
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甲第12497号
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/26523/files/k12497_abstract.pdf
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/26523/files/k12497_review.pdf
https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/26523/files/k12497_thesis.pdf
jpn