@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00010749,
 author = {古川, 泰男 and Furukawa, Yasuo},
 month = {Mar},
 note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類 : 工学博士(論文) 学位授与年月日 : 平成1年3月25日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {電子ビーム露光の高速化のための基礎的研究},
 year = {1989}
}