@techreport{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00010831, author = {後藤, 俊夫 and 河野, 明宏 and 岸本, 茂 and 平松, 美根男 and 廣田, 榮治 and 山田, 千樫}, month = {}, note = {科学研究費補助金 研究種目:重点領域研究032 課題番号:1990年度・63632006, 1991年度・01632006, 1992年度・02214105 研究代表者:後藤俊夫 研究期間:1990年~1992年度(当データは1992年度,報告番号02214105のもの)}, title = {反応性プラズマの制御}, year = {1992} }