@techreport{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00010854, author = {後藤, 俊夫 and 内田, 悦行 and 玉野, 順次}, month = {Mar}, note = {本報告書は一般研究(C)「小型放電励起Xeclエキシマレーザの研究」に関して、昭和56年度および57年度の2年間に得られた実用的レーザ装置製作のための基礎的研究の成果をまとめたものである。現在はその結果をもとに改良した装置を製作中であり、今後さらに研究を積み重ねていく予定である。, 科学研究費補助金 研究種目:一般研究(C) 課題番号:56550267 研究代表者:後藤 俊夫 研究期間:1981-1982年度}, title = {小型放電励起Xeclエキシマレーザの研究}, year = {1983} }