@techreport{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00010941, author = {後藤, 俊夫 and 菅井, 秀郎 and 村岡, 克紀 and 橘, 邦英 and 渡辺, 征夫 and 真壁, 利明 and 安田, 幸夫 and 田頭, 博昭}, month = {Feb}, note = {科学研究費補助金 研究種目:重点領域研究 課題番号:05237103 研究代表者:廣田 榮治 研究期間:1993-1996年度., http://kaken.nii.ac.jp/ja/p/05237103 では報告書表題は『フリ-ラジカルの科学の総合的研究』と表記}, title = {プラズマプロセスにおけるフリーラジカルに関する研究}, year = {1997} }