WEKO3
アイテム / Degradation of Mechanical Strength at Si/SiO2 Interface on SOI Wafers under Cyclic Loading / 09_MEMS_Ando
09_MEMS_Ando
ファイル | ライセンス |
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公開日 | 2010-08-03 | |||||
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ファイル名 | 09_MEMS_Ando.pdf | |||||
本文URL | https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/12040/files/09_MEMS_Ando.pdf | |||||
ラベル | 09_MEMS_Ando.pdf | |||||
オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 816.3 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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