@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00013723, author = {Torii, Akihiro and 鳥井, 昭宏}, month = {Mar}, note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成6年3月25日}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {Force and Position Measurements of Micromachines by Atomic Force Microscopy}, year = {1994} }