@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00013764, author = {岩山, 勉}, month = {Mar}, note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(理学) (論文) 学位授与年月日:平成7年3月1日 副論文・参考論文はPDFに含まれていません。}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {イオン注入による二酸化シリコン中のナノサイズシリコン微結晶の形成}, year = {1995} }