@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00013838,
 author = {Den, Shoji and 田, 昭治},
 month = {Mar},
 note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成10年3月25日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {Studies on the Development and Application of Permanent Magnet Electron Cyclotron Resonance Plasma Sources},
 year = {1998}
}