@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00013870, author = {水野, 文夫}, month = {Jul}, note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (論文) 学位授与年月日:平成10年7月31日}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {半導体デバイス製造における電子ビーム利用技術の開発に関する研究}, year = {1998} }