@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00013880, author = {鈴木, 千尋}, month = {Mar}, note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成11年3月25日}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {レーザー誘起蛍光法による高密度フロロカーボンプラズマ中の中性ラジカル測定}, year = {1999} }