@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00014365, author = {大下, 祥雄}, month = {Jun}, note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:工学博士 (論文) 学位授与年月日:平成3年6月6日}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {化学気相成長法によるシリコンならびにシリコンカーバイド結晶成長に関する研究}, year = {1991} }