@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00014425,
 author = {大毛利, 健治},
 month = {Mar},
 note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成12年3月27日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {走査型トンネル顕微鏡を用いた極薄シリコン酸化膜の形成及び劣化に関する研究},
 year = {2000}
}