@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00014557,
 author = {谷川, 智之},
 month = {Mar},
 note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成24年3月26日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {加工シリコン基板上半極性・無極性面窒化物半導体の選択MOVPE成長に関する研究},
 year = {2012}
}