@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00014558, author = {YAMAMOTO, Hiroshi and 山本, 洋}, month = {Mar}, note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成24年3月26日}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {Studies on Plasma Etching Process of Low Dielectrics for Fine Pattern Profile Control with Less Damage}, year = {2012} }