@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00014577,
 author = {小島, 啓安},
 month = {Mar},
 note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成24年3月26日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {高密度プラズマガン及びDCマグネトロンスパッタ法を用いた低温・大面積基板用成膜プロセスとその膜特性に関する研究},
 year = {2012}
}