@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00014679, author = {深沢, 正永}, month = {Mar}, note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課題) 学位授与年月日:平成24年3月26日}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {大規模集積回路における水素に起因したプラズマ誘起ダメージ及びプロセス変動制御に関する研究}, year = {2012} }