@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00015973,
 author = {橋本, 洋平},
 month = {Mar},
 note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類 : 博士(工学)(課程) 学位授与年月日:平成25年3月25日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {研磨パッドの非線形粘弾性を考慮したCMPプロセスのEHL解析},
 year = {2013}
}