@misc{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00017283,
 author = {佐藤, 一雄},
 month = {Feb},
 note = {2011年度退職記念講義},
 title = {最終講義 : 単結晶シリコンを対象としたマイクロ機械理工学研究},
 year = {2012}
}