@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00018015, author = {飯野, 大輝}, month = {Mar}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {臭化水素誘導結合型プラズマにおける臭素ラジカルの表面損失過程に関する研究}, year = {2014} }