@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:02000416,
 author = {今村, 翼},
 month = {Mar},
 school = {名古屋大学, NAGOYA University},
 title = {先端LSI製造プロセスにおけるO2, CO2, およびCOプラズマを利用したドライエッチングに関する研究},
 year = {2021}
}