@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:02000420,
 author = {森山, 誠},
 month = {Mar},
 school = {名古屋大学, NAGOYA University},
 title = {容量結合型プラズマ中における高アスペクト比ホール底部のチャージアップ挙動に関する研究},
 year = {2021}
}