@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:02000421,
 author = {山田, 真嗣},
 month = {Mar},
 school = {名古屋大学, NAGOYA University},
 title = {縦型GaNパワーデバイス実現に向けたICP-RIEを用いたトレンチ形成プロセスに関する研究},
 year = {2021}
}