WEKO3
アイテム / Time-dependent measurement of charge density on the bottom of high aspect capillary hole in pulse-modulated VHF capacitively coupled Ar plasma / repository_moriyama
repository_moriyama
| ファイル | ライセンス |
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 repository_moriyama.pdf (1.2 MB)
sha256
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| 公開日 | 2021-09-10 | |||||
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| ファイル名 | repository_moriyama.pdf | |||||
| 本文URL | https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/2001420/files/repository_moriyama.pdf | |||||
| オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
| フォーマット | application/pdf | |||||
| サイズ | 1.1 MB | |||||
| Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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