@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:02002594,
 author = {土井, 拓馬},
 month = {Mar},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {4H-SiC金属–酸化膜–半導体電界効果トランジスタのためのゲートスタックおよびコンタクトの界面物性制御},
 year = {2022}
}