@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00022879,
 author = {大矢, 欣伸},
 month = {Sep},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {半導体エッチング装置における高周波と直流の重畳印加によるフルオロカーボンガスプラズマの特性及び酸化膜のエッチングメカニズムに関する研究},
 year = {2016}
}