@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00024121,
 author = {虎澤, 直樹 and TORAZAWA, Naoki},
 month = {Mar},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {LSIデバイス微細Cu配線のプロセスと高信頼性化に関する研究},
 year = {2017}
}