@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00025498,
 author = {笹井, 建典},
 month = {Mar},
 note = {主論文ファイル公開2019年6月19日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {スロット励起高密度マイクロ波プラズマの生成と樹脂表面処理への応用に関する研究},
 year = {2018}
}