@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00026523,
 author = {酒井, 伊都子},
 month = {Sep},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {超大規模集積回路製造用プラズマエッチングにおける加工形状の制御に関する研究},
 year = {2018}
}