@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00026524,
 author = {根岸, 伸幸},
 month = {Sep},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {大規模集積回路プラズマプロセスにおける微細パターン形状制御の研究},
 year = {2018}
}