@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00026525,
 author = {松本, 光二},
 month = {Sep},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {Si基板上GaN高周波パワーデバイスに向けたAlN下地層及びGaN層の高品質化に関する研究},
 year = {2018}
}