@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00027744,
 author = {宮島, 秀史},
 month = {Mar},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {ロジックデバイスにおける低誘電率層間絶縁膜形成プロセスに関する研究},
 year = {2019}
}