@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00028562, author = {磯部, 康裕}, month = {Sep}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {窒化物半導体パワーデバイスの高性能化とプラズマによる低温成膜技術に関する研究}, year = {2019} }