@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00029679, author = {福水, 裕之}, month = {Mar}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {アルミニウム化合物を用いた半導体デバイス製造における原子層プロセスに関する研究}, year = {2020} }