@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00029706,
 author = {難波, 克也},
 month = {Mar},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {垂直観測型エリプソメトリー顕微鏡によるナノしゅう動すきまの高精度計測に関する研究},
 year = {2020}
}