@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00030575, author = {櫻井, 秀樹}, month = {Sep}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {縦型GaNパワーデバイス実現に向けたMgイオン注入プロセスに関する研究}, year = {2020} }