@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00030576, author = {佐々木, 俊行}, month = {Sep}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {先端LSI製造プロセスにおける塩素含有プラズマ及びフルオロカーボンプラズマを用いた難エッチング材料のドライエッチングに関する研究}, year = {2020} }