@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00004841, author = {安藤, 妙子 and Ando, Taeko}, month = {Mar}, note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成13年3月26日}, school = {名古屋大学, Nagoya University}, title = {薄膜材料のオンチップ引張試験ならびに疲労試験}, year = {2001} }