@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00004866,
 author = {豊田, 浩孝 and Toyoda, Hirotaka},
 month = {Mar},
 note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:工学博士 (課程) 学位授与年月日:昭和63年3月25日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {プラズマによる薄膜形成とその応用における水素の制御に関する研究},
 year = {1988}
}