@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00004913,
 author = {田畑, 彰守 and Tabata, Akimori},
 month = {Mar},
 note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:工学博士 (課程) 学位授与年月日:平成4年3月25日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {水素化アモルファス炭化シリコン膜の構造と電気的特性},
 year = {1992}
}