WEKO3
アイテム / Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy for absolute density measurements of fluorine atoms in fluorocarbon plasmas / ApplPhysLett_70_1375
ApplPhysLett_70_1375
ファイル | ライセンス |
---|---|
ApplPhysLett_70_1375.pdf (82.0 kB) sha256 0f65ca4fc30f2ec02a0e09153bdce2b3712a22a8289212e270ca70c400b634f9 |
公開日 | 2006-10-20 | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
ファイル名 | ApplPhysLett_70_1375.pdf | |||||
本文URL | https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/5384/files/ApplPhysLett_70_1375.pdf | |||||
ラベル | ApplPhysLett_70_1375.pdf | |||||
オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 82.0 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
---|