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AND
アイテム / Absolute density and reaction kinetics of fluorine atoms in high-density c-C_4F_8 plasmas / JApplPhys_83_7482
JApplPhys_83_7482
| ファイル | ライセンス |
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 JApplPhys_83_7482.pdf (140.8 kB)
sha256
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| 公開日 | 2006-10-24 | |||||
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| ファイル名 | JApplPhys_83_7482.pdf | |||||
| 本文URL | ||||||
| 本文URL | https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/5425/files/JApplPhys_83_7482.pdf | |||||
| ラベル | JApplPhys_83_7482.pdf | |||||
| フォーマット | application/pdf | |||||
| サイズ | ||||||
| サイズ | 140.8 kB | |||||
| Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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