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アイテム / Kinetics of fluorine atoms in high-density carbon–tetrafluoride plasmas / JApplPhys_82_5938
JApplPhys_82_5938
| ファイル | ライセンス |
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JApplPhys_82_5938.pdf (129.9 kB)
sha256
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| 公開日 | 2018-02-19 | |||||
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| ファイル名 | JApplPhys_82_5938.pdf | |||||
| 本文URL | https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/5427/files/JApplPhys_82_5938.pdf | |||||
| ラベル | JApplPhys_82_5938.pdf | |||||
| オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
| フォーマット | application/pdf | |||||
| サイズ | 129.9 kB | |||||
| Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/非表示 |
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