WEKO3
アイテム / Kinetics of fluorine atoms in high-density carbon–tetrafluoride plasmas / JApplPhys_82_5938
JApplPhys_82_5938
ファイル | ライセンス |
---|---|
JApplPhys_82_5938.pdf (129.9 kB) sha256 29fcbd20095ed559ad37fb7e0ec64f85d0dcae4e094b05343c21690000ce493d |
公開日 | 2006-10-24 | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
ファイル名 | JApplPhys_82_5938.pdf | |||||
本文URL | https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/5427/files/JApplPhys_82_5938.pdf | |||||
ラベル | JApplPhys_82_5938.pdf | |||||
オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 129.9 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
---|