WEKO3
アイテム / Spatial distribution of the absolute densities of CF_x radicals in fluorocarbon plasmas determined from single-path infrared laser absorption and laser-induced fluorescence / JApplPhys_90_580
JApplPhys_90_580
ファイル | ライセンス |
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JApplPhys_90_580.pdf (167.2 kB) sha256 f11f39033aeb37a0079412ffc19781867e0330d17804a9fd149a9f222b1f1422 |
公開日 | 2006-10-24 | |||||
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ファイル名 | JApplPhys_90_580.pdf | |||||
本文URL | https://nagoya.repo.nii.ac.jp/record/5434/files/JApplPhys_90_580.pdf | |||||
ラベル | JApplPhys_90_580.pdf | |||||
オブジェクトタイプ | fulltext | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 167.2 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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