@phdthesis{oai:nagoya.repo.nii.ac.jp:00006818,
 author = {福田, 琢也},
 month = {Mar},
 note = {名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学)(課程)　学位授与年月日:平成19年3月23日},
 school = {名古屋大学, Nagoya University},
 title = {LSI多層配線用層間絶縁膜とそのインテグレーション技術に関する研究開発},
 year = {2007}
}